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無塵烘箱的用途及維護保養(yǎng)方法

來源:上海超泓儀器設備有限公司   2019年09月25日 22:04  

無塵烘箱的用途:
超泓無塵烘箱主要用于半導體制造中硅片、鈮酸鋰、砷化鎵、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到佳溫度控制精度。無塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。無塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵烘箱日保養(yǎng):
1. 打掃設備表面及內腔灰塵,保持機器干凈、衛(wèi)生。
2. 檢查電流表是否正常,如有異樣,通知維修工檢修。
3. 檢查風機運轉是否正常,有無聲音異常,如有請立即關閉機器并通知我司售后。
4. 突然停電,要把加熱開關關閉,防止來電時自動啟動。

無塵烘箱月保養(yǎng):
1. 維修工檢查電流是否正常。
2. 檢查通風口是否堵塞,并清理積塵。
3. 風機運轉是否正常。
4. 檢查溫控器是否準確,如不準確,請聯系我司售后人員進行校正指導。
5. 檢查發(fā)熱管有無損壞,線路是否老化。
6. 檢查延時器是否準確,誤差是否允許。

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