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原子力顯微鏡利用微懸臂感受和放大懸臂上尖細(xì)探針與受測(cè)樣品原子之間的作用力，從而達(dá)到檢測(cè)的目的，具有原子級(jí)的分辨率。由于原子力顯微鏡既可以觀察導(dǎo)體，也可以觀察非導(dǎo)體，從而彌補(bǔ)了掃描隧道顯微鏡的不足。原子力顯微鏡（AFM）與掃描隧道顯微鏡（STM）大的差別在于并非利用電子隧穿效應(yīng)，而是檢測(cè)原子之間的接觸，原子鍵合，范德瓦耳斯力或卡西米爾效應(yīng)等來呈現(xiàn)樣品的表面特性。
1.原子力顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測(cè)試環(huán)境，大限度減小樣品表面吸附水對(duì)測(cè)試的影響，實(shí)現(xiàn)的物理特性測(cè)量。 真空環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)更大范圍的溫度控制。
2.設(shè)備通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時(shí)，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測(cè)試模式切換時(shí)的支架更換環(huán)節(jié)。
3.儀器采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動(dòng)，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。 漂移量：0.015nm/sec以下。
4.真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實(shí)現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。
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