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凈化車間具體工藝對(duì)溫度的要求，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越?。灰鬂穸戎狄话爿^低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)*溫度范圍為35—45%。
換氣次數(shù)是通入室內(nèi)的潔凈空氣量相當(dāng)于房間體積的倍數(shù)，其單位是次/h。如果一小時(shí)內(nèi)通入的空氣量和房間體積一樣，換氣次數(shù)就是1次/h，以此類推，換氣次數(shù)是亂流潔凈室決定潔凈度水平的主要參數(shù)。
換氣次數(shù)越大，潔凈度級(jí)別越高。
換氣次數(shù)可以根據(jù)要求的空氣潔凈度級(jí)別、室內(nèi)人數(shù)、房間面積、室內(nèi)其他發(fā)塵量和新風(fēng)比通過公式求出來，特別是動(dòng)態(tài)條件下更需要針對(duì)具體條件進(jìn)行計(jì)算。
凈化車間壓差控制的基本原理是控制送風(fēng)量、回風(fēng)量和排風(fēng)量。當(dāng)送入凈化車間內(nèi)的空氣量適當(dāng)?shù)拇笥诨仫L(fēng)和排風(fēng)量時(shí)，室內(nèi)則可維持一定的正壓值。此時(shí)，在室內(nèi)外靜壓差的作用下，通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)不嚴(yán)密處向外滲漏的風(fēng)量與機(jī)械進(jìn)出風(fēng)量的差額相等。
壓差維持的難題在于機(jī)械送風(fēng)量與出風(fēng)量是動(dòng)態(tài)變化的。對(duì)于潔凈空調(diào)系統(tǒng)來說，過濾器積塵會(huì)造成新風(fēng)、送風(fēng)管路阻力增加，從而影響風(fēng)量，排風(fēng)設(shè)備的時(shí)開時(shí)停也會(huì)導(dǎo)致排風(fēng)量的變化；此外，與樓道、室外相鄰還會(huì)因熱壓、風(fēng)壓的變化影響房間的壓差。因此潔凈室的壓差值需要經(jīng)常進(jìn)行檢查，并依次對(duì)新、送、回、排風(fēng)通路的閥門作出相應(yīng)的調(diào)整。
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