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上海自動化儀表一廠擴(kuò)散硅壓力變送器工作原理及選購須知

來源:上海自動化儀表集團(tuán)有限公司   2017年07月26日 09:48  

上海自動化儀表一廠擴(kuò)散硅壓力變送器采用半導(dǎo)體硅作感壓元件,硅半導(dǎo)體材料具有壓阻效應(yīng),在壓力作用下,硅晶格間隙發(fā)生變化,導(dǎo)致載流子遷移率的改變,從而引起電導(dǎo)率變化。 
上海自動化儀表一廠擴(kuò)散硅壓力變送器采用半導(dǎo)體硅作感壓元件,硅半導(dǎo)體材料具有壓阻效應(yīng),在壓力作用下,硅晶格間隙發(fā)生變化,導(dǎo)致載流子遷移率的改變,從而引起電導(dǎo)率變化。對于半導(dǎo)體電阻體,當(dāng)機(jī)械變形時,電阻率的相對變化率遠(yuǎn)大于外形尺寸L、A的相對變化率,其電阻變化率主要是壓阻效應(yīng)造成,當(dāng)半導(dǎo)體壓阻片與彈性元件處于一體,受壓而發(fā)生同一應(yīng)變時,應(yīng)變量c與被測壓力p成正比,說明半導(dǎo)體壓阻片的電阻變化率與被測壓力成正比,由此可測出壓力的變化。當(dāng)被測壓力(差壓)在全量程范圍內(nèi)波動時(相應(yīng)壓敏電阻變化量為△R),變送器輸出統(tǒng)一信號為420mA。
上海自動化儀表一廠擴(kuò)散硅壓力變送器采用IC(集成電路)技術(shù)直接在硅膜上擴(kuò)散形成應(yīng)變測量橋路元件。因此體積可做得很小。擴(kuò)散硅壓力變送器具有度高,直接輸出直流信號,線性度好,適用溫度范圍廣,重量輕,體積小,結(jié)構(gòu)簡單等特點(diǎn),可用于靜壓、動態(tài)壓力測量。

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