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掃描電鏡全稱為掃描電子顯微鏡，是自上世紀60年代作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學儀器。由于它具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點，故被廣泛地應(yīng)用于化學、生物、醫(yī)學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。
掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時，也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動 (聲子)、電子振蕩 (等離子體)。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等等。掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實現(xiàn)。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息；對X射線的采集，可得到物質(zhì)化學成分的信息。正因如此，根據(jù)不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。
掃描電鏡在追求高分辨率、高圖像質(zhì)量發(fā)展的同時，也向復(fù)合型發(fā)展，即成為把掃描、透射及微區(qū)成分分析、電子背散射衍射等結(jié)合為一體的復(fù)合型電鏡，實現(xiàn)了表面形貌、微區(qū)成分和晶體結(jié)構(gòu)等多信息同位分析。近幾年隨著計算機、信息數(shù)字化技術(shù)的發(fā)展和在掃描電鏡上的應(yīng)用，使得掃描電鏡的各種性能發(fā)生了新的飛躍，操作更加快捷，使用更加方便，是科學研究及至工業(yè)生產(chǎn)等許多領(lǐng)域應(yīng)用的顯微分析儀器之一。
掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時，也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動 (聲子)、電子振蕩 (等離子體)。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等等。掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實現(xiàn)。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息；對X射線的采集，可得到物質(zhì)化學成分的信息。正因如此，根據(jù)不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。
掃描電鏡在追求高分辨率、高圖像質(zhì)量發(fā)展的同時，也向復(fù)合型發(fā)展，即成為把掃描、透射及微區(qū)成分分析、電子背散射衍射等結(jié)合為一體的復(fù)合型電鏡，實現(xiàn)了表面形貌、微區(qū)成分和晶體結(jié)構(gòu)等多信息同位分析。近幾年隨著計算機、信息數(shù)字化技術(shù)的發(fā)展和在掃描電鏡上的應(yīng)用，使得掃描電鏡的各種性能發(fā)生了新的飛躍，操作更加快捷，使用更加方便，是科學研究及至工業(yè)生產(chǎn)等許多領(lǐng)域應(yīng)用的顯微分析儀器之一。
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