據(jù)SEMI 標(biāo)準(zhǔn) C46-0306,對于25%的TMAH，通常要求其每種污染元素的濃度低于10ppb,甚至有些客戶要求更低。實(shí)驗(yàn)表明，DRC ICP-MS非常適合于UPW領(lǐng)域的超低含量（ng/L級)的樣品的常規(guī)定量分析。通過計(jì)算機(jī)對標(biāo)準(zhǔn)模式及反應(yīng)模式的切換，使得每次樣品測量干擾降低至少。
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