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膜厚儀測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理
閱讀：1410 發(fā)布時間：2022-6-26
膜厚儀具有無損，可靠，高生產(chǎn)力，高靈活性等優(yōu)點，可用來定性分析樣品的元素組成，也可用于鍍層和鍍層系統(tǒng)的厚度測量，廣泛應(yīng)用于電路板、半導(dǎo)體、電鍍、五金產(chǎn)品、汽車零部件、衛(wèi)浴潔具、珠寶等工業(yè)中的功能性鍍層電鍍槽液中的成分濃度分析。
膜厚儀測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理，對薄膜進(jìn)行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。TF200根據(jù)反射回來的干涉光，用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm，可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜，還可以測量n和k值。
膜厚儀的技術(shù)功能：
微電腦控制系統(tǒng)，大液晶顯示、PLC操作面板，方便用戶進(jìn)行試驗操作和數(shù)據(jù)查看。
嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計的接觸面積和測量壓力，同時支持各種非標(biāo)定制。
測試過程中測量頭自動升降，有效避免了人為因素造成的系統(tǒng)誤差。
支持自動和手動兩種測量模式，方便用戶自由選擇。
系統(tǒng)自動進(jìn)樣，進(jìn)樣步距、測量點數(shù)和進(jìn)樣速度等相關(guān)參數(shù)均可由用戶自行設(shè)定。
實時顯示測量結(jié)果的較小值、平均值以及標(biāo)準(zhǔn)偏差等分析數(shù)據(jù)，方便用戶進(jìn)行判斷。
配置標(biāo)準(zhǔn)量塊用于系統(tǒng)標(biāo)定，保證測試的精度和數(shù)據(jù)一致性。
系統(tǒng)支持?jǐn)?shù)據(jù)實時顯示、自動統(tǒng)計、打印等許多實用功能，方便快捷地獲取測試結(jié)果。
標(biāo)準(zhǔn)的USB接口，便于系統(tǒng)與電腦的外部連接和數(shù)據(jù)。