微分干涉顯微鏡(DIC)通過(guò)偏振光干涉技術(shù),將樣品表面微小高度差異轉(zhuǎn)化為光程差,實(shí)現(xiàn)高對(duì)比度成像。
微分干涉顯微鏡是一種利用相干光干涉現(xiàn)象進(jìn)行高分辨率成像的顯微鏡技術(shù)。它通過(guò)將樣品表面形貌的變化轉(zhuǎn)化為光程差,利用位置敏感探測(cè)器檢測(cè)光波前的強(qiáng)度變化,并通過(guò)數(shù)字信號(hào)處理得到樣品表面的高度變化。DIC顯微鏡能夠以高分辨率和充足對(duì)比度觀察未染色的生物樣本,甚至產(chǎn)生出浮雕效果的圖像。
工作原理
DIC顯微鏡的工作原理基于相干光干涉現(xiàn)象。它利用偏振光在樣本內(nèi)產(chǎn)生的不同相移,通過(guò)干涉效應(yīng)增強(qiáng)結(jié)構(gòu)的對(duì)比度。具體來(lái)說(shuō),光源發(fā)出的光線經(jīng)過(guò)偏振片后變?yōu)榫€偏振光,進(jìn)入微分干涉棱鏡后分為兩個(gè)垂直偏振平面的線性偏振光。這兩束光分別照射到樣本的不同區(qū)域,由于樣本厚度的差異導(dǎo)致兩束光的相位差不同,在目鏡中形成干涉圖樣,從而反映出樣本表面的形貌信息。
DIC顯微鏡在多個(gè)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用:
生物顯微學(xué) :用于觀察細(xì)胞形態(tài)和結(jié)構(gòu),以及生物分子和蛋白質(zhì)的形態(tài)和互作。它還可以用于細(xì)胞和組織的三維成像和動(dòng)態(tài)觀察。
材料科學(xué) :用于研究材料的表面形貌和納米結(jié)構(gòu),如微型元件、納米粒子、生物材料等。
半導(dǎo)體工業(yè) :通過(guò)非接觸測(cè)量方式監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體芯片的表面精度,提高生產(chǎn)過(guò)程的可靠性和效率。
PCB質(zhì)量檢測(cè) :檢測(cè)PCB表面和內(nèi)部的細(xì)微缺陷,如開路、短路、裂紋等。
精密機(jī)械制造 :用于精密機(jī)械零件的表面質(zhì)量檢測(cè)和加工過(guò)程監(jiān)控。
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