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SSD電暈放電式(外施電壓式)的種類(lèi)--美薩技術(shù)篇

時(shí)間:2025/6/28閱讀:110
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電暈放電式(外施電壓式)的種類(lèi)

交流式(AC方式)

利用交流電源,從一個(gè)放電針交互產(chǎn)生正離子(+)和負(fù)離子(-)的方式。交流式適合近距離、無(wú)風(fēng)狀態(tài)下除靜電,被用于多種生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)。

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高頻型(約70kHz)商用頻率型(50/60Hz)

何為高頻型

遠(yuǎn)高于商用頻率的頻率(約70kHz),將高電壓施加于放電針上,產(chǎn)生電暈放電,能夠均勻大量產(chǎn)生正離子(+)和負(fù)離子(-),發(fā)揮較高的除靜電效果。

尤其是將軟管用于除靜電,可以實(shí)現(xiàn)其他方式(商用頻率型和直流式)無(wú)法做到的點(diǎn)式除靜電。甚至能夠避免在放電針產(chǎn)生的電場(chǎng)接近半導(dǎo)體元件等時(shí)產(chǎn)生傷害。

與商用頻率型的比較

與商用頻率型的比較

商用頻率型的特點(diǎn)是由于使用繞組變壓器,因而裝置較重,形狀也較大。與此相對(duì),由于高頻型在基板上裝配元件,因此形狀極小、重量較輕,可裝配于半導(dǎo)體相關(guān)裝置的狹小空間中,用途廣泛。

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穩(wěn)態(tài)直流式(DC方式)

分別向兩根放電針外加正離子(+)和負(fù)離子(-)的方式。特點(diǎn)是由于一直施加高壓,離子量較多、除靜電速度較快。放電針的磨損因正離子(+)和負(fù)離子(-)而不同,因此隨著時(shí)間經(jīng)過(guò),離子平衡電壓有變大傾向。

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脈沖直流式 (pulsed DC方式)

特點(diǎn)是除靜電速度快,但是由于含有各種頻率成分,有噪音大的傾向。

對(duì)于放電針周?chē)慕^緣體臟污,可能因電流泄漏導(dǎo)致絕緣體損壞。

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混合數(shù)字控制-AC式(HDC-AC方式)

對(duì)正離子(+)和負(fù)離子(-)的釋放進(jìn)行數(shù)字控制,具有的離子平衡調(diào)整功能。可以對(duì)高速移動(dòng)的物體進(jìn)行均勻除靜電,令除靜電方式更加進(jìn)化。對(duì)于放電針的臟污特性變化小,無(wú)需頻繁清掃,也能保持長(zhǎng)期穩(wěn)定的除靜電性能。


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