美薩科技（蘇州）有限公司與大塚電子強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)手，共拓精密儀器市場

——聚焦半導(dǎo)體檢測技術(shù)，賦能**制造升級

      蘇州——美薩科技（蘇州）有限公司（以下簡稱“美薩科技"）近日宣布與日本大塚電子（OTSUKA ELECTRONICS）達(dá)成深度合作，雙方將聯(lián)合推廣大塚電子旗下**精密檢測設(shè)備，重點(diǎn)布局半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜及新能源電池領(lǐng)域，助力中國制造業(yè)智能化升級。

      美薩科技作為蘇州本土綜合性貿(mào)易商，長期專注于半導(dǎo)體、儀器儀表等領(lǐng)域的技術(shù)引進(jìn)與供應(yīng)鏈服務(wù)。其代理的日本品牌產(chǎn)品覆蓋光譜儀、膜厚檢測儀等**設(shè)備，與大塚電子的核心技術(shù)高度契合。大塚電子作為****的精密測量儀器制造商，其光譜橢偏儀、膜厚分析儀等產(chǎn)品在半導(dǎo)體工藝控制、光學(xué)薄膜研發(fā)中具有顯著優(yōu)勢。

二、OPTM系列（顯微分光膜厚儀）

1. 核心參數(shù)

• OPTM-A1：230~800 nm

• OPTM-A2：360~1100 nm

• OPTM-A3：900~1600 nm

• 波長范圍：

• 膜厚范圍：1 nm~92 μm（不同型號覆蓋范圍不同）

• 測量速度：1秒/點(diǎn)，支持高速分析

三、用途：

     適用于界面化學(xué)、無機(jī)物、半導(dǎo)體、高分子、生物、藥學(xué)、醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中，除了微粒子外，膜及平板狀樣品的表面科學(xué)的基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究。

四、ELSZ-neo SE：納米級精準(zhǔn)測量，賦能**材料研發(fā)

1.核心技術(shù)突破
      ELSZ-neo SE是2022年推出的ELSZ-neo系列升級版，繼承了前代產(chǎn)品的多角度散射技術(shù)（前方/側(cè)方/后方測量）與動態(tài)光散射法，新增以下功能：

• 高鹽濃度環(huán)境適配：通過特殊涂層設(shè)計的平板固體樣品池，實(shí)現(xiàn)**生理鹽水等高鹽濃度環(huán)境下的Zeta電位精準(zhǔn)測量，突破傳統(tǒng)儀器在生物樣本（如蛋白質(zhì)溶液、細(xì)胞外基質(zhì)）中的檢測局限。

• 微流變學(xué)分析集成：新增靜態(tài)光散射模塊，可同步測量聚合物、蛋白質(zhì)等樣品的粘彈性特性，為藥物遞送系統(tǒng)、水凝膠材料開發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。

• 超微量樣品池：支持3μL極小樣品量檢測（上一代為130μL），大幅降低珍貴生物樣本的消耗，尤其適用于單細(xì)胞分析、體外診斷試劑研發(fā)。

2. 跨領(lǐng)域應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體：精確分析光刻膠、介電常數(shù)材料的粒徑分布與表面電荷，優(yōu)化芯片制造中的涂布工藝。

• 生物醫(yī)藥：研究納米藥物載體（如脂質(zhì)體、外泌體）的穩(wěn)定性，加速抗癌藥物遞送系統(tǒng)的臨床轉(zhuǎn)化。

• 新能源：評估鋰離子電池電解液添加劑的分散性，提升電池循環(huán)壽命與安全性。

五、OPTM系列膜厚儀：非接觸式測量革新顯示與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

1. 性能全面升級
      OPTM系列是基于顯微光譜法的非破壞性膜厚測量儀，2025年新款機(jī)型（OPTM-A1/A2/A3）在以下維度實(shí)現(xiàn)飛躍：

• 超廣波長覆蓋：新增900~1600nm波段（OPTM-A3），支持    SiC功率器件、紅外光學(xué)薄膜的厚度分析，填補(bǔ)傳統(tǒng)設(shè)備在寬禁帶半導(dǎo)體檢測中的空白。

• 亞微米級精度：最小測量光斑僅3μm（上一代5μm），可精準(zhǔn)解析彩色濾光片（RGB層）、抗反射膜等微結(jié)構(gòu)薄膜的厚度均勻性。

• 自動化集成方案：標(biāo)配XY自動平臺，支持200mm×200mm范圍內(nèi)多點(diǎn)快速映射檢測，單次測量時間縮短至1秒/點(diǎn)，滿足OLED面板產(chǎn)線的高效質(zhì)檢需求。

2. 行業(yè)解決方案落地

• 顯示面板：針對OLED柔性屏的PI基底、ITO透明導(dǎo)電膜進(jìn)行全自動化在線檢測

• 半導(dǎo)體：精確測量SiO?、SiN等絕緣膜的厚度及光學(xué)常數(shù)（n/k值），為FinFET、GAA晶體管工藝提供關(guān)鍵參數(shù)反饋。

• 汽車工業(yè)：檢測DLC（類金剛石碳）涂層在汽車零部件上的耐磨性。

六、技術(shù)協(xié)同與未來布局

大塚電子表示，ELSZ系列與OPTM系列的結(jié)合可形成“納米顆粒-薄膜-器件"全鏈條檢測生態(tài)：

• 材料研發(fā)階段：ELSZ-neo SE分析納米材料的粒徑與表面特性；

• 工藝控制階段：OPTM系列監(jiān)控薄膜沉積均勻性；

• 成品驗(yàn)證階段：兩者協(xié)同確保半導(dǎo)體器件、光學(xué)元件的性能達(dá)標(biāo)。