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輪廓儀測(cè)量技巧與案例分析

一、測(cè)量技巧

1. 探針選擇與校準(zhǔn) ：根據(jù)樣品的表面特征和測(cè)量要求，選擇合適的探針。探針的半徑、角度和材質(zhì)都會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。在使用前，對(duì)探針進(jìn)行校準(zhǔn)，確保探針的精度。
2. 樣品定位與夾緊 ：樣品的定位和夾緊是保證測(cè)量精度的關(guān)鍵。使用合適的夾具，確保樣品穩(wěn)定且與測(cè)量平臺(tái)垂直。避免樣品在測(cè)量過(guò)程中發(fā)生移動(dòng)或變形。
3. 測(cè)量參數(shù)優(yōu)化 ：通過(guò)優(yōu)化測(cè)量參數(shù)，如測(cè)量速度、濾波器等，可以提高測(cè)量精度。對(duì)于粗糙表面，適當(dāng)降低測(cè)量速度，增加測(cè)量點(diǎn)數(shù)；對(duì)于光滑表面，可以適當(dāng)提高測(cè)量速度，減少測(cè)量時(shí)間。

二、案例分析

案例一：機(jī)械加工零件的表面粗糙度測(cè)量

案例二：電子元件的微觀輪廓測(cè)量

三、總結(jié)