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超連續(xù)譜光源(SC光源)又稱超連續(xù)譜激光器,是發(fā)射特殊激光的光源。激光是指具有相同相位的光,即相干光。普通激光器發(fā)射單一波長的光,但SC光源是多波長激光光源,可在很寬的波長范圍內(nèi)同時發(fā)射多束相位對齊的光。據(jù)說,當不同波長的光重疊時,光會變成白色。SC光源發(fā)出的激光是相干光,由于包含各種波長的光,因此被稱為白激光。SC光源通過將極短的納秒或皮秒周期的強大脈沖激光穿過光纖電纜來產(chǎn)生這種光。超連續(xù)譜光源的應(yīng)用SC光源發(fā)出較寬波長范圍的相位對準光,因此被用于光學相干斷層掃描(OCT)、共焦顯微鏡、熒光成
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ALD(沉積)設(shè)備是利用原子層沉積形成納米級薄膜的設(shè)備。由于薄膜是按原子逐層形成的,因此具有精確的膜厚可控性和精確的階梯涂布性能。但缺點是成膜速度慢。ALD成膜中使用了許多有機金屬材料,但其中許多材料對人體有負面影響,并且高度易燃。處理需要專業(yè)知識和極其小心。ALD設(shè)備的應(yīng)用ALD設(shè)備常用于半導體生產(chǎn)工藝、FPD生產(chǎn)工藝等。近年來,這項技術(shù)已成為DRAM生產(chǎn)中的一部分。以下是使用ALD裝置形成的薄膜的例子。1.柵極氧化膜形成FET等晶體管時必需的具有高介電常數(shù)的薄膜。主要采用Al2O3、ZrO2
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電子束光刻設(shè)備是半導體光掩模生產(chǎn)中利用電子束在光掩模毛坯(以下簡稱毛坯)上繪制電路圖形的設(shè)備。在存儲器、CPU等LSI的制造中,將分割為數(shù)十層的光掩模作為母板,使用曝光裝置將光掩模上的圖案轉(zhuǎn)印到晶圓上來制作電路。光掩模的質(zhì)量對LSI良率影響最大。因此,在光掩模上繪制圖案的電子束光刻設(shè)備可以說是LSI制造中最重要的設(shè)備之一。電子束光刻設(shè)備的應(yīng)用電子束光刻設(shè)備用于在制造光掩模以及制造MEMS等納米技術(shù)產(chǎn)品時在毛坯上繪制電路圖案。在LSI制造過程中,掩模制造涉及將設(shè)計過程中創(chuàng)建的電子文件上的圖案數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)
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步進曝光機是一種用于光刻(半導體和液晶制造工藝)的投射曝光設(shè)備。隨著IC電路圖案的小型化,制作全尺寸光掩模圖案變得困難。這是指在對大于實際尺寸的掩模圖案進行縮小投影曝光時進行分步重復曝光的曝光設(shè)備步進機是一種曝光設(shè)備,通過執(zhí)行步進和重復來曝光整個待曝光區(qū)域。步進機的使用步進機用于半導體和液晶的制造,特別是用于光刻過程中使用掩模的曝光處理。步進法包括步進重復法和步進重復法,其中,由于一次可以轉(zhuǎn)移的面積較小,因此在步進時將晶圓順序曝光;以及步進重復法,其中稱為掃描儀的標線和存在一種使用步進機進行曝光
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半導體清洗設(shè)備是清洗工藝中使用的設(shè)備的總稱,是半導體制造工藝之一。清洗工藝是重要工藝,占整個半導體制造工藝的30-40%。在高溫處理工序或薄膜形成工序之前,有作為前工序的清洗,除去污垢;在除去氧化物和薄膜的蝕刻工序之后,有作為后工序的清洗,除去抗蝕劑殘渣。半導體清洗設(shè)備大致分為使用化學品和純水的濕式清洗設(shè)備和不使用化學品的干式清洗設(shè)備。半導體清洗設(shè)備的應(yīng)用半導體清洗設(shè)備用于半導體制造工廠的各種工藝中。它既用于在硅晶圓上形成半導體器件的預處理,也用于分離器件并封裝它們以制造最終產(chǎn)品的后處理。特別是
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激光位移計是一種利用激光測量物體位置和距離的裝置。激光照射到物體表面,通過光檢測并測量物體的位移。無需接觸即可進行高精度位移測量。另一個特點是它可以高速檢測。激光束照射和光檢測幾乎同時發(fā)生,從而可以立即測量位移。適用于高速運動和振動分析。激光位移計的應(yīng)用激光位移計可用于多種應(yīng)用,因為它們能夠進行非接觸式高精度測量。1.材料變形與應(yīng)力分析通過測量物體受力時的微小位移和變形,可以評估材料的彈性和剛性。2.建筑物、機器等結(jié)構(gòu)的振動分析可以測量物體的振動頻率、振動模式、共振現(xiàn)象等,評價結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和耐久
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開關(guān)變壓器是開關(guān)電源的重要組成部分,開關(guān)電源是電源的支柱。開關(guān)電源內(nèi)部產(chǎn)生偽高頻交流電,并以高頻轉(zhuǎn)換和傳輸電力,從而形成緊湊且高效的電源。通過優(yōu)化變壓器,可以設(shè)計出產(chǎn)生更少熱量和噪音的電源。這是開關(guān)電源最重要的組件。開關(guān)變壓器的應(yīng)用顧名思義,開關(guān)變壓器用于開關(guān)電源。由于開關(guān)電源應(yīng)用于所有電氣產(chǎn)品,因此開關(guān)變壓器也應(yīng)用于所有電氣產(chǎn)品。它們被用于從電視和空調(diào)等家用電器,路由器和網(wǎng)關(guān)等通信設(shè)備,復印機和計算機等信息設(shè)備,以及半導體制造設(shè)備、加工設(shè)備和機器人等工業(yè)設(shè)備。開關(guān)變壓器原理與其他變壓器一樣,它
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旋轉(zhuǎn)激光器是一種使用激光的整平裝置。名稱因制造商而異,有時也稱為激光水平儀。找平就是把東西找平,是建筑工地上非常重要的一道工序。如果地板和窗框不水平,建筑物的結(jié)構(gòu)就不干凈。旋轉(zhuǎn)激光器在旋轉(zhuǎn)時發(fā)射激光束,并且可以通過接收器接收來輕松調(diào)平。可在戶外大面積或傾斜區(qū)域使用。旋轉(zhuǎn)激光器的應(yīng)用使用旋轉(zhuǎn)激光器進行調(diào)平。首先,安裝旋轉(zhuǎn)激光器,并在大范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)的同時發(fā)射激光。通過在要檢查水平度的位置安裝接收器并接收激光束,可以輕松完成調(diào)平。使用旋轉(zhuǎn)激光器可以讓一個人同時工作和測量多個位置。確認水平度后,即可檢查混