KASHIYAMA MU180X 干式真空泵

產(chǎn)品簡介

KASHIYAMA MU180X 干式真空泵 是日本 KASHIYAMA（樫山工業(yè)）推出的 MU-XE 系列中型干式真空泵，適用于對潔凈度要求高的行業(yè)，如半導(dǎo)體、液晶、LED 及太陽能光伏等。該型號在能效、穩(wěn)定性、結(jié)構(gòu)緊湊性和維護便捷性方面均表現(xiàn)優(yōu)異。

技術(shù)參數(shù)

• 抽速：3000 L/min

• 極限壓力：1.5 Pa

• 電源：三相 AC 200–220V，50/60Hz

• 功耗：約 0.5 kW

• 尺寸：550 × 280 × 299 mm

• 重量：約 95 kg

產(chǎn)品特點

• 無油潔凈設(shè)計：無油運轉(zhuǎn)，避免油污染，確保工藝腔體潔凈無殘留。

• 高抽速輸出：3000 L/min 高效抽氣能力，適應(yīng)中高負載真空需求。

• 節(jié)能環(huán)保：低功耗電機，運行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品。

• 結(jié)構(gòu)緊湊：占地面積小，適合設(shè)備集成和改造項目。

• 維護便捷：模塊化結(jié)構(gòu)，簡化檢修流程，降低使用成本。

應(yīng)用領(lǐng)域

KASHIYAMA MU180X 真空泵廣泛應(yīng)用于以下制造行業(yè)：

• 半導(dǎo)體前道與后道工藝（CVD、PVD、刻蝕、封裝）

• 液晶顯示器（LCD）面板制造

• LED芯片生產(chǎn)與測試

• 太陽能電池組件制造

• 真空鍍膜系統(tǒng)、等離子清洗設(shè)備等

配套服務(wù)

• 原廠技術(shù)支持，提供選型指導(dǎo)

• 可定制接口方案，支持整線集成

• 提供安裝調(diào)試與售后維護服務(wù)

• 長期現(xiàn)貨供應(yīng)，支持項目投標