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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 | 控制范圍 | 0.5-100% 滿量程 |
| 精度 | 1% | 響應時間 | 300ms≤t≤1000ms |
| 功能 | 多氣體/多量程 | 操作溫度 | 15-60℃ |
HORIBA SEC-Z700S 系列是一款高性能新型壓力補償質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），專為高精度氣體輸送系統設計。其集成優(yōu)良的熱傳感器與壓力補償算法，有效克服了上游和下游壓力波動對流量穩(wěn)定性的影響，適用于半導體制造、材料工藝、精密氣體混合等領域。
多氣體 / 多量程支持
可通過軟件設置快速切換氣體種類和滿量程流量，提升通用性與靈活性。
內建壓力傳感器與溫度傳感器
實現更精確的流量補償，適應復雜的工作環(huán)境。
高潔凈設計
流路全部采用 SUS316L 不銹鋼及金屬隔膜，表面鏡面拋光，符合半導體行業(yè)高潔凈標準。
豐富的通訊接口
支持 Analog（0-5V / 4-20mA）、DeviceNet、EtherCAT 等主流工業(yè)通信協議。
結構緊湊
相同體積覆蓋 50 SLM 以下的多種型號，簡化系統集成。
響應時間可調
支持 300ms ~ 1000ms 之間靈活調整控制響應時間。
| 規(guī)格 | 滿量程范圍 | 氣體類型（可切換） | 接口尺寸 |
| SEC-Z711MGX | 5 SLM | N? / Ar / H? 等 | 1/4" VCR |
| SEC-Z714MGX | 20 SLM | 多種氣體（可設定） | 1/4" VCR |
| SEC-Z716MGX | 50 SLM | 多種氣體（可設定） | 3/8" VCR |
半導體設備氣體輸送
顯示器制造工藝
化學氣相沉積（CVD / ALD）
高精度氣體混合與分配
科研實驗室及氣體反應系統
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