HORIBA SEC-N100 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。該系列支持多種通信協(xié)議，具有較高的精度、快速響應(yīng)能力和強(qiáng)大的多氣體、多量程適應(yīng)能力，是新一代工藝控制系統(tǒng)的理想選擇。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 支持多種通信方式

• 數(shù)字/模擬通信

• DeviceNet™

• CC-Link™

• PROFIBUS™

• EtherCAT®

• 高精度流量控制

• 控制精度達(dá) ±1.0% of Set Point (*1)

• 重復(fù)性好，穩(wěn)定性高

• 快速響應(yīng)性能

• 響應(yīng)時間：≤1秒（T98）

• 可變 PID 控制算法，確保不同氣體/不同流量下的穩(wěn)定輸出

• 多氣體/多量程功能

• 支持用戶自定義更換氣體類型和滿量程（Full Scale）設(shè)定

• 降低庫存成本，提高設(shè)備通用性和靈活性

• 高可靠性設(shè)計

• 無運(yùn)動部件結(jié)構(gòu)，可靠性更高，適合長期穩(wěn)定運(yùn)行

• 緊湊型設(shè)計，適配多種系統(tǒng)集成環(huán)境

技術(shù)規(guī)格

適用行業(yè)與應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體制程設(shè)備（如 CVD、Etching、PVD）

• 光電子器件制造

• OLED 面板制程

• 醫(yī)療與生物制藥氣體控制

• 化學(xué)反應(yīng)過程氣體定量注入

• 實(shí)驗(yàn)室氣體流量控制系統(tǒng)