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當(dāng)前位置：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司>>技術(shù)文章>>用于半導(dǎo)體、電子元件的氧分析儀MS-500
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮池類型 | ||
|---|---|---|---|
| 類型 | 分離型（轉(zhuǎn)換器：壁掛式;傳感器：直接插入式） | ||
| 顯示系統(tǒng) | 4 位數(shù)字顯示（濃度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 100 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動系列 | ||
| 重復(fù)性 | 滿量程的 ±0.5% 以內(nèi);范圍 0-1% 或更高 在滿量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以內(nèi)，以較大者為準;范圍小于 0-1 % 濃度在 0-1 ppm 之間，大氣壓范圍不在保修期內(nèi)。 | ||
| 測量點數(shù)量 | 1~8 | ||
| 樣氣要求 | 壓力 | 10-3至 200KPa（絕對壓力） | |
| 流量 | 0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min（在自然分散狀態(tài)下測量） | ||
| 濕度 | 露點低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0 至 100°C | ||
| 別人 | 不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或濕氣 | ||
| 參比氣體 | 大氣層 | ||
| 記錄器輸出 | 僅傳輸輸出 | ||
| 傳輸輸出 | RS-232C 系列 | ||
| 警報輸出 | 沒有 | ||
| 預(yù)熱時間 | 6 分鐘或更短 | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92 mm （W） ×44 mm （H）×120 mm （D）（不包括突出部分） | |
| MS-510（轉(zhuǎn)換器） | 100 mm（寬）×40 mm（高）×88 mm（深）（不包括突出部分） | ||
| 傳感器單元 | SD16NW型 | 全長 100mm（傳感器 ? 11×39，機身 ? 40×51） | |
| SD25NW型 | 全長 100mm（傳感器 ? 11×42，機身 ? 40×48） | ||
| SD40NW 系列 | 全長 100mm（傳感器 ? 11×41，機身 ? 40×49） | ||
| 重量 | MS-500（控制器） | 約 0.6 kg | |
| MS-510（轉(zhuǎn)換器） | 約 0.5 kg | ||
| 傳感器單元 | SD16NW型 | 約 0.2 kg | |
| SD25NW型 | 約 0.2 kg | ||
| SD40NW 系列 | 約 0.35 kg | ||
| 外部連接 | 任何真空法蘭（NW16、25 或 40） | ||
| 權(quán)力 | 24VDC±10% | ||
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