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NITTOSEIKO日東精工 （原 三菱化學(xué)）
表面電阻率測(cè)試儀
應(yīng)用行業(yè)：用于液晶半導(dǎo)體、材料研究院等行業(yè)。
四點(diǎn)探針?lè)ㄊ菍⑺膫€(gè)針狀電極[圖3.3.2 四點(diǎn)探針]沿直線放置在樣品上，如圖[圖3.3.1 使用四點(diǎn)探針測(cè)量]所示。
在兩個(gè)外探針（A和D）之間流過(guò)恒定電流，測(cè)量?jī)蓚€(gè)內(nèi)探針（B和C）之間產(chǎn)生的電位差以求出電阻。
接下來(lái)，通過(guò)將獲得的電阻（R，單位：Ω）乘以樣品厚度t（cm）和校正因子RCF（電阻率校正因子）來(lái)計(jì)算體積電阻率。
這樣，四探針?lè)ê退奶结樂(lè)ü灿孟嗤臏y(cè)量系統(tǒng)，僅與樣品接觸的電極部分不同。
只需將四探針?lè)ǖ奶结槪ㄋ奶结橂姌O）壓在樣品上即可進(jìn)行測(cè)量，與之前的四探針?lè)ㄏ啾龋?/p>
無(wú)需在樣品上形成電極，大大提高了工作效率。
[表3.3 四探針?lè)ㄅc四探針?lè)ǖ谋容^] 四探針?lè)óa(chǎn)生的電場(chǎng)圖像如[圖3.3.3 四探針探針產(chǎn)生的電場(chǎng)]所示。
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