Fischione 1061 型 SEM 研磨機（離子研磨）

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產(chǎn)品代碼： 型號1061

制造商： Fischione

 限度的維護 - 

 由于電離效率高，TrueFocus 離子源的維護成本極低，組件使用壽命極長。離子源濺射的物質幾乎可以忽略不計，從而最大限度地減少了樣品污染和組件維護。自動關閉功能可防止濺射物質在觀察窗上堆積。所有系統(tǒng)組件均可輕松進行日常清潔。

可編程 - 樣品可360°旋轉，轉速可調，并具有樣品搖擺功能。儀器自動感應樣品厚度并確定研磨平面，從而最大限度提高處理量。磁編碼器提供絕對定位精度。

自動終止—— 離子銑削過程可以根據(jù)經(jīng)過的時間或溫度自動終止。 

時間 - 計時器允許研磨持續(xù)預定時間，并在時間到后關閉離子源電源。樣品保持真空狀態(tài)，直到負載鎖排氣。 

溫度 - 如果樣品階段達到預設溫度，與樣品冷卻系統(tǒng)相關的熱保護裝置將停止該過程。 

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描述

橫截面工作站（選配）

用于創(chuàng)建原始橫截面樣品的工具，用于在SEM研磨機中進行離子研磨。該工作站設計用于容納各種尺寸的樣品，并能夠精確定位目標區(qū)域，適用于各種材料，包括半導體器件、多層膜、陶瓷以及硬脆材料。

現(xiàn)場 樣品觀察 使用可選的立體顯微鏡或高倍顯微鏡可以在銑削位置現(xiàn)場

監(jiān)測離子銑削過程 。

可選配的立體顯微鏡（7 至 45 倍）可增強樣品觀察效果。顯微鏡的長工作距離允許在銑削過程中現(xiàn)場觀察樣品。 

SEM Mill 可配置 1,960 倍高倍顯微鏡，并配備 CCD 攝像頭和視頻監(jiān)視器，用于在研磨過程中實時觀察樣品并捕捉圖像。該系統(tǒng)非常適合現(xiàn)場制備樣品。 

觀察窗受百葉窗保護，可防止濺射物質的積聚干擾樣品觀察。 

集成式臺面冷卻（可選）

雖然低角度研磨和低離子束能量可以降低樣品加熱，但對溫度敏感的樣品可能需要進一步冷卻。SEM 研磨機的液氮系統(tǒng)在外殼內配備一個杜瓦瓶，該杜瓦瓶 集成并互鎖，可有效消除熱致偽影。

真空或惰性氣體轉移艙（可選）

可選真空艙允許您在真空或惰性氣體下將樣品轉移到 SEM。

網(wǎng)絡研討會：

點擊此處- 通過寬離子束銑削進行先進的樣品制備，用于 EBSD 分析

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