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# 2024年新品發(fā)布會#
日期：2024年9月29日
時間：8：30-18：30
近期我司新推出升級了SHASHIN寫真化學(xué)映射涂層測厚儀
映射涂層測厚儀能夠在最大 300 mm 的晶圓的所有表面上自動映射膜厚測量。 自動對位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實(shí)現(xiàn)可靠的薄膜厚度測量。 此外，它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負(fù)載端口，以在保持清潔度的同時管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。
1能夠?qū)ψ畲?300 mm 的晶圓的整個表面進(jìn)行自動涂層厚度映射測量
2自動對位功能
3通過使用具有高平整度的晶圓卡盤，提高晶圓表面的測量可靠性
通過自動檢測缺口和無花柱位置，以及自動檢測晶圓偏心率，實(shí)現(xiàn)高精度測量。
4可根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源。
5透明蓋，便于在測量過程中查看運(yùn)動
6一體化節(jié)省空間的設(shè)計(jì)
