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2024/09/20
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• 由納米級(jí)驅(qū)動(dòng)單元實(shí)現(xiàn)的六自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu)，有效降低累積誤差；
• 平動(dòng)行程：X, Y, Z ±10 mm, ±10 mm, ±5 mm；
• 角擺行程：ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °；
• 最小步伐：20 nm /1 μrad；
• 多軸姿態(tài)同時(shí)調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高；
• 可提供真空環(huán)境規(guī)格；