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ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G

參   考   價: 5444

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號新產品

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質經銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-08-27 19:25:53瀏覽次數(shù):508次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網
產地類別 進口 應用領域 地礦,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合
序列號 176.0755.4908.
ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G

ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G

操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設定點設置、狀態(tài)確認等。

燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍:復合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化:與之前的產品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別最小的產品之一。

更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。

可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當連接了可選的單元SAU時)。

用途

用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設備的極限壓力確認

用于在含有多種碳氫化合物(油類)的環(huán)境中進行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設備

水晶式成膜控制器

CRTM 系列

CRTM-6000G

愛發(fā)科

CRTM-6000G晶體振蕩式成膜控制器,具有優(yōu)異的膜厚及成膜速度分辨能力。
尺寸結構,可以對應低速率控制和最多99層的多層膜連續(xù)蒸發(fā)控制。

特點

  • 優(yōu)異的膜厚和成膜速率分辨率,在成膜速率低時也可以進行控制

  • 125 ms的快速采樣率可以很好地控制

  • 可實現(xiàn)樓層膜厚控制,最高達到99層

  • 標準配有RS232C通信

  • 最多可連接2個單傳感器(可切換)

  • 配備最少數(shù)字輸入/輸出(各12ch)和模擬輸出(3ch)

目的

  • 蒸發(fā)時的膜厚及速率控制

規(guī)格

膜厚/速率分辨率0.041A(5兆赫)
0.029A(6兆赫)
膜厚顯示范圍/顯示分辨率/td>0.000~99.99μm(0.000~999.9k?)
沉積率顯示范圍/顯示分辨率0.01~99.99 nm/s(0.1~999.9 ?/s)
支持的傳感器頻率5兆赫、6兆赫
可連接的傳感器數(shù)量單傳感器:2個(不能同時測量,為開關型)
多傳感器:1個
采樣率125毫秒
支持多層膜層數(shù)99 層
沉積程序數(shù)量99
數(shù)字輸入/輸出輸入:12通道可編程
輸出:12通道可編程
模擬輸出3通道可編程
外形尺寸 寬×深×高240 毫米 x 350 毫米 x 99 毫米


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