白光干涉儀的影響因素

閱讀：906 發(fā)布時(shí)間：2023-11-20

　　白光干涉儀是一種精度很高的非接觸式測量設(shè)備，其廣泛應(yīng)用于各類加工樣品和精密器件的表面特征檢測，涉及的學(xué)科已經(jīng)超過30個(gè)。這種設(shè)備利用兩道相同特性的白光在零光程差時(shí)條紋對比明顯之特性，來判定零光程差的發(fā)生位置，借此取得待測物體的三維表面形貌變化。然而，白光干涉儀的測量結(jié)果可能會受到以下因素的影響：

　　1. 光源的穩(wěn)定性：光源的穩(wěn)定性對白光干涉儀的測量結(jié)果有著重要影響。如果光源不穩(wěn)定，那么干涉信號就會受到影響，從而影響到測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

　　2. 環(huán)境溫度：環(huán)境溫度的變化會影響到光學(xué)系統(tǒng)的參數(shù)，從而影響到測量結(jié)果。因此，在使用白光干涉儀進(jìn)行測量時(shí)，需要盡可能地保證環(huán)境溫度的穩(wěn)定。

　　3. 光學(xué)元件的質(zhì)量：光學(xué)元件的質(zhì)量直接影響到干涉儀的性能。如果光學(xué)元件的質(zhì)量不佳，那么就會降低測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

　　4. 被測物體的表面質(zhì)量：被測物體的表面質(zhì)量也會影響到測量結(jié)果。如果被測物體的表面質(zhì)量不佳，那么就會降低測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

　　5. 被測物體的反射率：被測物體的反射率對測量結(jié)果也有影響。如果被測物體的反射率較低，那么照射到物體的大部分都會被吸收，反射光強(qiáng)度會減少，干涉信號微小或不會出現(xiàn)干涉現(xiàn)象。

　　6. 光源的波長：由于傳統(tǒng)干涉法存在的局限性，當(dāng)表面微觀高度不連續(xù)性超過1/4窄帶光源波長時(shí)，由于條紋的周期性使得不易精確分辨，從而無法進(jìn)行微觀高度超過十幾微米的測量。

　　白光干涉儀的測量結(jié)果會受到多種因素的影響，因此在實(shí)際操作中需要對這些因素進(jìn)行有效的控制，以確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

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