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【小丸子上新】多組分濃度計(專用機用FUD-1 型號-53)

時間:2025-2-26閱讀:73
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【小丸子上新】我司近期推出熱銷產品多組分濃度計(專用機用FUD-1 型號-53)


產品概述

該型號保留了FUD-1 Model-53的易于維護和高精度在線測量等優(yōu)點,同時配備了可用于半導體制造過程的小型電池式變送器。

多組分濃度計特點

可以實時測量三種成分中的兩種成分的濃度

  • 模擬DC4-20mA(2個系統(tǒng))和數(shù)字RS232C是標準設備。

  • 測量錯誤輸出和警告輸出為標準功能

  • 自我診斷功能和錯誤信息顯示是標準功能

  • 小型輕便的蜂窩發(fā)射器可直接安裝在線路上

  • 接觸液體的部件采用 PFA,小輸出設計意味著不會對化學品產生影響


優(yōu)點

  • 可進行高精度連續(xù)測量

  • 免維護,無需定期調整或校準

  • 安裝過程中無需調整,安裝簡便

  • 實時輸出可輕松向流程提供反饋


用途

  • CMP 工藝中的 CMP 漿料和氧化劑濃度管理

  • 清洗過程中清洗液濃度管理(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)

  • 蝕刻工藝中的蝕刻液濃度管理(TMAH+resist、TMAH+Si等)




規(guī)格

模型FUD-1 型號-53
 轉換器
測量參數(shù)超聲波傳播速度、溫度和電導率
表示LCD(濃度1、濃度2、溫度、聲速、電導率/各種參數(shù))
輸出信號模擬DC4-20mA:2個系統(tǒng)(可自由設定濃度值)
數(shù)字RS232C(濃度1、濃度2、聲速、溫度、電導率、錯誤代碼)
報警 上/下限測量誤差:2個系統(tǒng)
電源AC100V-240V 50/60Hz 30VA (也可使用DC24V)
結構面板安裝型(符合 DIN 標準)
環(huán)境溫度轉換器0~50℃
RH85%以下(無結露)
功能輸出范圍設定功能、報警輸出設定功能、濃度顯示移動平均功能、濃度顯示偏置及增益設定功能、自我診斷功能、故障安全功能、異常值取消功能、溫度時間常數(shù)修正
選項溫度輸出(DC 4至20mA)
RS485輸出(不能與RS232C同時輸出)
通道(校準曲線)最大7ch
兼容發(fā)射器示例SA-20S29+導電率計、SA-20S27+導電率計



 模型 發(fā)射機
SA-20S29+導電率計
SA-20S27+導電率計
 振動元件 壓電陶瓷(2MHz)x1壓電陶瓷(2MHz)x2
 測量元件 熱敏電阻熱敏電阻
 測定液溫度 0~100℃ 0~80℃
 結構 流動池 流動池
 液體部材 PFA/PFA 涂層 肺動脈高壓
 聯(lián)合的 3/4 配件(可更換) 3/4 配件(可更換)
 耐壓性 0.3兆帕 0.3兆帕
 流量 5升/分鐘(建議) 5升/分鐘(建議)
 重量 2.5公斤 2.5公斤
 電纜 專用電纜6m專用電纜6m
 環(huán)境溫度 5~45℃ 5~45℃


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