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NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動(dòng)
優(yōu)良的耐腐蝕性
標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
選購件
可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器。
• 活性氣體（CVD、刻蝕等）。
• 排出非活性氣體（濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。
• 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
• 作為前級(jí)泵使用（渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵）。
• 冷凍干燥等水蒸氣排氣。
技術(shù)參數(shù)
外形尺寸圖
抽氣速率曲線
* 1 極限壓力是氮?dú)猓芊鈿怏w）在5.0 SLM時(shí)的值。
* 2 無結(jié)露。
* 3 用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
* 4 氮?dú)猓芊鈿怏w）流量5.0 SLM是固定值。
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