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瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。
可加熱各種流體
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊，加熱部分與流體不直接接觸，可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。
在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。
通常，配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點，即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心，從而達到穩(wěn)定加熱的目的。
在半導(dǎo)體制造工藝中，不僅需要對氣體進行加熱處理，氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設(shè)置質(zhì)量流量控制器以控制流量，加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC自主研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu)，適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。
可將50SLM的N2氣體加熱至200℃的小型熱交換器。
HX-0050A
面間距158㎜×長度80㎜×高80㎜的緊湊型設(shè)計
最大流量50SLM
最高使用溫度200℃
接觸氣體部分接采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)，可加熱對其無腐蝕性的氣體
真空、加壓條件下也可使用
防止蝕刻設(shè)備排氣管路堵塞
半導(dǎo)體制造設(shè)備和FPD(平板顯示器)制造設(shè)備情況下，反應(yīng)氣體被送到排除設(shè)備的過程中，會部分粘附在配管上形成堵塞。通常，用熱N2氣體稀釋是解決方法之一，但是僅通過管道外部帶狀加熱器加熱無法得到理想的效果。緊湊型熱交換器HX-0050A系列可充分加熱流體，最大限度減少此類堵塞問題的發(fā)生。
| 流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接氣體部分材質(zhì) | |
| 規(guī)格 | 50SLM | 9.8kPa | 1MPa | 200℃ | SUS316L不銹鋼 |
※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請直接致電或郵件咨詢LINTEC。
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