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探針臺的維護與保養(yǎng)
閱讀：805 發(fā)布時間：2023-10-23
探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。簡易型組合式探針臺結(jié)構(gòu)小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎上，去除了非必要得部件，該探針臺系統(tǒng)包含：光學成像部分，隔振平臺探針座，四維調(diào)整載片臺（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；譜量光電可以根據(jù)客戶應用搭建探針臺，以達到更好得使用效果和性價比。
維護與保養(yǎng)：
平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺， 動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。
相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。