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光刻膠烘箱的典型結(jié)構(gòu)

閱讀:247      發(fā)布時(shí)間:2025-5-26
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  • 1. 加熱系統(tǒng)

  • 加熱方式:

    • 熱板接觸式:直接傳導(dǎo)加熱(適用于單片晶圓,溫度均勻性高)。

    • 熱風(fēng)循環(huán)式:對(duì)流加熱(適合批量處理,需優(yōu)化氣流分布)。

    • 紅外輻射式:非接觸加熱(減少機(jī)械應(yīng)力,用于柔性基板)。

  • 控溫元件:

    • PID算法+鉑電阻(RTD)或熱電偶(T/C),閉環(huán)控制精度±0.1℃。

  • 2. 送風(fēng)系統(tǒng)

  • 層流設(shè)計(jì):垂直單向流(Downflow)確保潔凈度,風(fēng)速0.3~0.5 m/s。

  • 風(fēng)量調(diào)節(jié):變頻風(fēng)機(jī)按工藝階段調(diào)整風(fēng)量(如升溫階段高風(fēng)量,保溫階段低風(fēng)量)。

  • 3. 腔體與載具

  • 材質(zhì):不銹鋼316L或鋁合金(表面陽(yáng)極氧化),耐化學(xué)腐蝕。

  • 載具類型:

    • 石英舟(耐高溫,用于SiC/GaN器件)。

    • 聚醚醚酮(PEEK)托盤(防靜電,用于有機(jī)光刻膠)。

  • 4. 控制系統(tǒng)

  • 多段程序控溫:支持10~20段溫度曲線(如前烘:90℃/60s → 110℃/120s)。

  • 數(shù)據(jù)追溯:記錄溫度、氧含量、壓力等參數(shù),符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)。

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