按時(shí)進(jìn)行光刻機(jī)水冷機(jī)組的維修保養(yǎng)，而對(duì)于很多企業(yè)而言，如果光刻機(jī)水冷機(jī)組缺少必要的保養(yǎng)與維護(hù)，意味著光刻機(jī)水冷機(jī)組后期運(yùn)行故障率非常高。
在實(shí)際運(yùn)行光刻機(jī)水冷機(jī)組的時(shí)候，為保持光刻機(jī)水冷機(jī)組運(yùn)行靠譜與穩(wěn)定，建議在使用半年時(shí)間之后，需要針對(duì)光刻機(jī)水冷機(jī)組進(jìn)行面面的清洗。尤其對(duì)于容易產(chǎn)生積塵污垢的位置，如蒸發(fā)器、冷凝器需要作為清洗的地方，可依靠各類專業(yè)的清洗溶劑，達(dá)到更好的清洗效果，保持光刻機(jī)水冷機(jī)組具備更高散熱性能，提高企業(yè)整體工作生產(chǎn)效率。
即便光刻機(jī)水冷機(jī)組整體的運(yùn)行品質(zhì)再高，如果在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)沒有進(jìn)行任何的維護(hù)與保養(yǎng)，意味著光刻機(jī)水冷機(jī)組可能出現(xiàn)不同程度的故障問題。在散熱性能受到影響的前提下運(yùn)行光刻機(jī)水冷機(jī)組，其設(shè)備運(yùn)行消耗的能源大范圍的增加，嚴(yán)重影響光刻機(jī)水冷機(jī)組的穩(wěn)定運(yùn)行。
具體什么時(shí)間針對(duì)光刻機(jī)水冷機(jī)組進(jìn)行清洗，需要根據(jù)企業(yè)使用的環(huán)境確定。如果企業(yè)使用環(huán)境較為干凈，可以適當(dāng)?shù)难娱L(zhǎng)清洗的時(shí)間，反之需要企業(yè)提前完成清洗，保持光刻機(jī)水冷機(jī)組的運(yùn)行穩(wěn)定，避免各類故障影響到企業(yè)正常使用光刻機(jī)水冷機(jī)組。
如果光刻機(jī)水冷機(jī)組使用的頻率較高，并且環(huán)境較為惡劣，為減少工業(yè)冷凍機(jī)出現(xiàn)各類故障的概率，可以將清洗的時(shí)間提前。
