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美國Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS操作簡單，能夠方便的與絕大多數(shù)半導(dǎo)體機臺聯(lián)動，插入即可使用。
美國TeledyneAPI緊湊型高純度臭氧輸送系統(tǒng)Mini ODS包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險?。
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