氣體質量流量控制器的工作原理是當氣體流過感應管時，會使用毛細管傳熱溫差量熱法的原理來測量氣體的質量流量。使用要求：
1.氣體質量流量控制器所在氣路氣源要安裝減壓閥對整體氣路進行減壓處理。氣體質量流量控制器壓力過小可能造成氣源不足，導致實際流量到達不了設定值流量；壓力如果過大，會使氣體質量流量控制器的層流傳感器處于過載狀態(tài)，有可能造成傳感器精度損失或者造成傳感器損壞。
2.氣體質量流量控制器前端要配置截止閥、過濾器、干燥器等配件，其中截止閥可有效阻斷氣源對氣體質量流量控制器的壓力沖擊，對氣體質量流量控制器內部的層流傳感器起到保護作用；過濾器、煩躁器可確保進入氣體質量流量控制器的氣體是純凈、干燥的氣體，如果氣源雜質、水汽含量較大，會形成結垢物質，堵塞流道，從而導致層流傳感損壞或者精度出現(xiàn)較大偏差。
3.氣體質量流量控制器后端要配置單向閥或隔膜閥以防止后端氣體壓力過大，氣體回流到氣體質量流量控制器中。在單向閥和隔膜閥后端配置截止閥，防止氣體質量流量控制器閥門關不嚴或在使用的過程中突然出現(xiàn)問題導致氣體質量流量控制器閥門不受控制。
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