Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器 參數(shù)0.5sccm – 6000 slm 全量程 Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器采用無熱漂移，無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測量原理，無熱漂移，可以忽略的溫移和時漂，長期穩(wěn)定性0.1%F.S/年，準確度1.0%，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定，無需標定，可以同時顯示和輸出：瞬時 流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。
Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器與熱式流量計不同，當使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時，Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器沒有附加的“比熱容"誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同，也不會影響測量精度。
標準參數(shù)(有關(guān)選配項，請聯(lián)系Grylls） | |
產(chǎn)品性能參數(shù) | Grylls6600系列差壓式質(zhì)量流量控制器 |
精度（調(diào)零后標準條件下） | ± 1%Full Scale |
傳感器響應(yīng)時間 | <1 ms |
重復(fù)性 | ± 0.2%Full Scale |
零點漂移和滿量程漂移 | 0.2%Full Scale / oCelsius / Atm |
工作范圍和量程比 | 2% to 100% Full Scale / 50:1 (100:1 optional) |
最大可控流量 | 100% Full Scale |
最大可測流量 | 100% Full Scale |
典型響應(yīng)時間 | <100 ms |
壓力精度（大于1大氣壓時） | ±0.6% of reading |
壓力精度（小于1大氣壓時） | ±0.1 PSIA |
溫度精度 | ±0.75°C |
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