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雙腔室高真空等離子體ALD系統(tǒng) 參考價(jià)：面議
雙腔室高真空等離子體ALD系統(tǒng)是對(duì)ALD技術(shù)的擴(kuò)展，通過(guò)等離子體的引入，產(chǎn)生大量活性自由基，增強(qiáng)了前驅(qū)體物質(zhì)的反應(yīng)活性，從而拓展了ALD對(duì)前驅(qū)源的選擇范圍和應(yīng)用...(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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