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    控溫儀表： 日本島電（具有超溫、過溫、斷偶保護等功能，6組PID調(diào)節(jié)，控制精度+/-1℃）

    電 器： 正泰

    加熱元件： 硅鉬棒

    爐 膛： 1600型氧化鋁多晶纖維

    爐 管： 99剛玉管

    法 蘭： 不銹鋼法蘭，上面安裝有氣嘴、閥門、壓力表

    測壓系統(tǒng)： 壓力表 （可以根據(jù)用戶的需要配置電阻真空計（選購））

    進氣控制系統(tǒng)： 浮子流量計（可以根據(jù)客戶的 配置質(zhì)子流量控制器（選購)

    抽氣系統(tǒng)： 真空泵 （選購）

     碳棒是選用綠化碳化硅材料為主要原料，以硅碳為加熱元件采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，經(jīng)過輕加工制呸、高溫硅化、在結(jié)晶而成的棒狀的非金屬高溫電熱元件。該元件與金屬電熱元件相比，具有使用溫度高、抗氧化、耐腐蝕、壽命長、變形微、安裝維修方便等優(yōu)點。

     硅碳棒具有較大的比電阻，在空氣中加熱，發(fā)熱部表面溫度可以達到1450℃； 從室溫到800℃為負值，800℃以上為正值特性曲線。硅碳棒具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性，但堿和堿土金屬氧化物在一定的溫度條件下對其有侵蝕作用。為爐溫和加熱棒承受負荷均勻， 安裝前必須進行配阻，保持電阻一致±10%；電爐長期使用過程中，個別棒由于其它原因而損壞需要更換時，要根據(jù)當時阻值的增長情況，選補阻值適宜的棒，不可任取新棒更換。若棒損壞的較多或阻值增長過大，無法達到達到所需的爐溫時建議全部更換成新棒。