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GTK150擴(kuò)散泵高真空系統(tǒng)具體設(shè)備的技術(shù)參數(shù)
閱讀：1427 發(fā)布時(shí)間：2022-4-24
一、機(jī)組技術(shù)參數(shù)
1、機(jī)組輸入電壓：220V/380V
2、波紋管：KF40*1000mm
3、真空擋板閥：KF40
4、機(jī)箱尺寸：600*600*600mm
二、擴(kuò)散泵技術(shù)參數(shù)
擴(kuò)散泵型號 | TK150 |
入口直徑 | 150mm |
抽氣速率L/S（對空氣） | 1000L |
建議啟動壓強(qiáng) | ＜10 Pa |
極限壓強(qiáng)（Pa） | 7×10-5 |
排氣口法蘭 | KF40 |
功率 | 1.2KW |
輸入電壓頻率（V/Hz） | 220V |
環(huán)境溫度（℃） | 0～40 |
前級泵型號 | FX-16 |
冷卻方式 | 水冷 |
冷卻水溫度（℃） | <25 |
安裝方式 | 垂直 |
注油量 | 0.3L |
重量（公斤） | 40 |
產(chǎn)品型號 | FFX-16 |
三、真空泵參數(shù)
擴(kuò)散泵泵前級真空泵FFX-16 (擴(kuò)散泵必須要配此前級泵)
功率 | 0.75KW |
電壓 | 380V |
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm |
進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 |
前機(jī)泵抽氣速率（L/S） | 4 |
極限壓強(qiáng) | 4X10 -2Pa |
四、復(fù)合真空計(jì)技術(shù)參數(shù)
復(fù)合真空計(jì)型號 | ZDF |
電源 | 220V 55W |
控制精度 | ± 1% |
真空計(jì)測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa |