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通常需要確定以下問題來確定探針臺(tái)的選型：

1、最大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者器件？ 
2、 探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？ 
3、 點(diǎn)測(cè)樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的mini pad，還是ic內(nèi)部的metal？ 
4、 最多需要幾根探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)？ 
5、 是否會(huì)用到探針卡？ 
6、 光學(xué)顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？ 
7、 顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)？ 
8、 探針點(diǎn)測(cè)時(shí)，對(duì)電流的要求是否達(dá)到100fa或者以下？低電容的要求是否要做到0.1pf？是否有射頻的需求？
9、 接駁的測(cè)試儀器接口有哪些？ 
10、測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫？ 
11、對(duì)chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？ 
12、是否需要防震桌？ 
13、若添置防震桌，是否有壓縮空氣？