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薄膜測(cè)厚儀的常用測(cè)量方法
閱讀：430 發(fā)布時(shí)間：2024-2-23
薄膜測(cè)厚儀是一種用于測(cè)量薄膜厚度的設(shè)備。常用的測(cè)量方法包括以下幾種：
散射光法：通過照射樣品表面并測(cè)量散射光的強(qiáng)度來確定薄膜厚度。該方法適用于有透明基底且不吸收或吸收很少光線的薄膜。
反射光法：通過照射樣品表面，然后測(cè)量反射光波長(zhǎng)和強(qiáng)度的變化來計(jì)算出薄膜厚度。該方法適用于有較高反射率差異而又能接觸到背景襯底的樣品。
橢圓偏振法：利用入射橢圓偏振態(tài)與反射、透過樣品后形成新的橢圓偏振態(tài)之間關(guān)系，結(jié)合模型擬合分析得到樣品層析物質(zhì)和厚度信息。
插電極法：通過在已知介電常數(shù)材料（如SiO2）上施加交變電場(chǎng)，并測(cè)量其帶電容性質(zhì)，進(jìn)而推斷出待測(cè)試材料的等效介電常數(shù)和厚度。
X-射線熒光法：使用X射線照射樣品，然后測(cè)量熒光輻射的特性（如能譜和強(qiáng)度）來確定薄膜厚度。該方法適用于有較高原子序數(shù)的材料。
這些方法各有優(yōu)缺點(diǎn)，適用于不同類型和特征的薄膜。具體選擇哪種測(cè)量方法應(yīng)根據(jù)實(shí)際需求、樣品特性和儀器設(shè)備的可用性進(jìn)行決定。在進(jìn)行測(cè)量前，請(qǐng)確保了解并遵守所使用設(shè)備的操作說明，并按照相關(guān)安全規(guī)程執(zhí)行。