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　　化學(xué)品粒子計(jì)數(shù)器提供可靠的污染監(jiān)控，能夠檢測(cè)粒徑小至40nm的粒子。如果您的應(yīng)用需要監(jiān)測(cè)具有高分子散射的化學(xué)物中的粒子，粒子計(jì)數(shù)器是監(jiān)測(cè)工具。這項(xiàng)技術(shù)可以消除液態(tài)分子和粒子的光散射之間的競(jìng)爭(zhēng)。這使得40nm粒徑大小被檢測(cè)到。背景和誤計(jì)數(shù)是過(guò)去的事了。突破性進(jìn)展確保只有和粒子指紋相匹配的信息才會(huì)被計(jì)數(shù)，這樣獲取到的數(shù)據(jù)非?？煽?。

　　化學(xué)品粒子計(jì)數(shù)器是靈敏度高精密儀器的細(xì)顆粒的測(cè)量值，該計(jì)數(shù)器不處于非潔凈（沒(méi)有早期效應(yīng)，并且在過(guò)濾效率高），其設(shè)有辦公室或店鋪，僅在純化潔凈室（潔凈室清潔級(jí)使用）內(nèi)10-30一萬(wàn)，測(cè)試數(shù)據(jù)比它和??準(zhǔn)確的結(jié)果。因?yàn)榉莾艋囬g，有許多塵埃顆?；虼笥?0um的，如果大顆粒吸附到該計(jì)數(shù)器，將導(dǎo)致所述激光傳感器，這可能導(dǎo)致阻塞傳感器損壞，從而影響的灰塵或其它顆粒計(jì)數(shù)器故障的準(zhǔn)確性。另外在測(cè)試之前，簇?fù)肀仨毲鍧嵑透蓛舻囊路筒僮魅藛T穿著，工作人員不

　　再周圍走動(dòng)，在靜狀態(tài)下（無(wú)生產(chǎn)，通風(fēng)凈化系統(tǒng)開(kāi)啟狀態(tài)）進(jìn)行測(cè)試。這樣測(cè)試的結(jié)果才會(huì)相對(duì)準(zhǔn)確。

　　微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學(xué)品，需要經(jīng)過(guò)高度過(guò)濾，適用于≤20nm的粒子。化學(xué)式粒子計(jì)數(shù)器具有20nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度高的高純度工藝化學(xué)品粒子傳感器。

　　來(lái)自化學(xué)品輸送和包裝系統(tǒng)的廣泛數(shù)據(jù)證明，與其競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品相比，具有20nm靈敏度的傳感器統(tǒng)計(jì)出的顆粒濃度較大，數(shù)據(jù)具有統(tǒng)計(jì)意義。化學(xué)顆粒計(jì)數(shù)器是非常有用的工具，在化學(xué)顆粒源影響工藝和設(shè)備性能之前，便能夠快速檢測(cè)化學(xué)顆粒源。