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產(chǎn)品型號(hào)

  高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

主要特點(diǎn)

  1、雙層Al₂O₃纖維鋼構(gòu)，無(wú)需水冷或風(fēng)冷。

  2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

  3、PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過(guò)熱保護(hù)和斷偶功能。

  4、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：?jiǎn)蜗?/span>208-240V AC  50/60Hz  10KW

  2、石英管：外徑Φ110mm，內(nèi)徑Φ103mm，長(zhǎng)380mm

  3、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長(zhǎng)200mm，絲圈Φ10mm，燈長(zhǎng)300mm

  4、加熱區(qū)：300mm

  5、工作溫度：zui高溫度1100℃

  6、控溫精度：±0.5℃

  7、zui高升溫速度：RT-800℃時(shí)為50℃/s，800℃-1000℃時(shí)為10℃/s

  8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動(dòng)控制

  9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長(zhǎng)時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水　 　 　 　 　         冷，循環(huán)水流量為0.5m³/hr

  10、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵），10^-5torr（分子泵）

  11、質(zhì)量流量計(jì)：3個(gè)，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS

  12、混氣罐：Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

  重量：爐體45kg，真空混氣系統(tǒng)75kg