蒸發(fā)鍍膜儀的核心在于利用真空環(huán)境，降低材料的蒸發(fā)溫度，使其在相對(duì)較低的溫度下就能蒸發(fā)成氣態(tài)。這些氣態(tài)粒子在真空中擴(kuò)散，當(dāng)遇到溫度較低的基底時(shí)，便會(huì)在其表面凝結(jié)，逐漸形成一層均勻的薄膜。為了實(shí)現(xiàn)這一過程，通常配備有真空系統(tǒng)，以確保腔體內(nèi)達(dá)到足夠的真空度，減少氣體分子的干擾，從而保證薄膜的純度和質(zhì)量。
在加熱蒸發(fā)材料方面，常見的方式有電阻加熱、電子束加熱等。電阻加熱是通過電流流過特定的加熱元件，如鎢絲、鉬舟等，使其產(chǎn)生高溫，進(jìn)而加熱蒸發(fā)材料。這種方式簡(jiǎn)單易行，適用于多種材料的蒸發(fā)。而電子束加熱則是利用高能電子束直接轟擊蒸發(fā)材料，使其局部熔化并蒸發(fā)。電子束加熱具有能量集中、可準(zhǔn)確控制等優(yōu)點(diǎn)，特別適用于高熔點(diǎn)材料的蒸發(fā)。
蒸發(fā)鍍膜儀的校準(zhǔn)方法：
-真空度校準(zhǔn)：
-使用標(biāo)準(zhǔn)的真空計(jì)對(duì)蒸發(fā)鍍膜儀的真空度進(jìn)行校準(zhǔn)。將標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)與鍍膜儀的真空系統(tǒng)連接，在相同的條件下(如相同的抽氣時(shí)間和功率等)，比較兩者的讀數(shù)。如果讀數(shù)存在差異，可以通過調(diào)整鍍膜儀上的真空度顯示參數(shù)，使其與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的讀數(shù)一致。
-對(duì)于一些高精度的蒸發(fā)鍍膜儀，可能需要定期將儀器送到專業(yè)的計(jì)量機(jī)構(gòu)進(jìn)行真空度校準(zhǔn)，以確保其準(zhǔn)確性和可靠性。
-溫度校準(zhǔn)：
-利用標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)(如熱電偶或熱電阻溫度計(jì))對(duì)蒸發(fā)源的溫度進(jìn)行校準(zhǔn)。將標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)與蒸發(fā)源緊密接觸，設(shè)置不同的加熱溫度，比較標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)的測(cè)量值與蒸發(fā)鍍膜儀顯示的蒸發(fā)源溫度。根據(jù)兩者之間的誤差，調(diào)整鍍膜儀的溫度控制參數(shù)，使顯示溫度與實(shí)際溫度相符。
-對(duì)于具有多個(gè)加熱區(qū)域的蒸發(fā)鍍膜儀，需要分別對(duì)每個(gè)加熱區(qū)域進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，以確保各區(qū)域的溫度均勻性和準(zhǔn)確性。
-膜厚控制校準(zhǔn)：
-根據(jù)膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的工作原理，選擇合適的校準(zhǔn)方法。如果是通過光學(xué)原理監(jiān)測(cè)膜厚的設(shè)備，可以使用已知折射率和厚度的薄膜樣品進(jìn)行校準(zhǔn)。將樣品放入鍍膜儀中，設(shè)置不同的鍍膜參數(shù)，觀察膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的顯示值與樣品實(shí)際厚度的差異，調(diào)整監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的參數(shù)，使其能夠準(zhǔn)確測(cè)量膜厚。
-對(duì)于采用重量法監(jiān)測(cè)膜厚的設(shè)備，可以使用精度較高的天平稱量鍍膜前后樣品的重量變化，計(jì)算出實(shí)際鍍膜厚度，并與膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的顯示值進(jìn)行對(duì)比和校準(zhǔn)。
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