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熱式與層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)的氣體兼容性對(duì)比

閱讀:492      發(fā)布時(shí)間:2025-2-10
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層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)(MFC)的氣體兼容性更強(qiáng),主要得益于其工作原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

1. 基于層流壓差原理,無需氣體特性依賴

工作原理:層流壓差式MFC通過測量氣體在層流狀態(tài)下的壓差來計(jì)算流量。層流狀態(tài)下,氣體流動(dòng)呈線性,壓差與流量成正比,且與氣體種類無關(guān)。

對(duì)比熱式MFC:熱式MFC依賴氣體的熱傳導(dǎo)特性(如比熱容、導(dǎo)熱系數(shù))來測量流量,不同氣體的熱特性差異較大,需針對(duì)每種氣體進(jìn)行標(biāo)定和轉(zhuǎn)換系數(shù)調(diào)整。而層流壓差式MFC無需考慮氣體熱特性,因此兼容性更強(qiáng)。

2. 無需轉(zhuǎn)換系數(shù),支持多氣體測量

通用性強(qiáng):層流壓差式MFC可直接測量多種氣體,無需為每種氣體設(shè)置轉(zhuǎn)換系數(shù)(K-factor),簡化了操作流程。

混合氣體支持:由于不依賴氣體熱特性,層流壓差式MFC更適合測量混合氣體(如空氣、天然氣等),而熱式MFC在混合氣體測量中易受成分變化影響,精度下降。

3. 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)勢

無加熱元件:層流壓差式MFC無需加熱元件(如熱絲或熱膜),避免了因氣體腐蝕或污染導(dǎo)致的傳感器損壞問題。

耐腐蝕材料:層流元件通常采用不銹鋼、陶瓷等耐腐蝕材料,可適配腐蝕性氣體(如氯氣、氨氣等),而熱式MFC的熱絲易被腐蝕性氣體侵蝕,壽命較短。

4. 環(huán)境適應(yīng)性更強(qiáng)

溫度、壓力補(bǔ)償:層流壓差式MFC內(nèi)置溫度和壓力傳感器,可實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境變化對(duì)測量的影響,確保在不同工況下的穩(wěn)定性。

抗污染能力:層流元件結(jié)構(gòu)簡單,不易受氣體中雜質(zhì)(如顆粒物、油污)影響,而熱式MFC的熱絲易被污染,導(dǎo)致測量精度下降。

5. 應(yīng)用場景廣泛

半導(dǎo)體行業(yè):需處理多種特殊氣體(如SiH?、PH?等),層流壓差式MFC的高兼容性使其成為理想選擇。

新能源領(lǐng)域:如氫能、燃料電池,涉及氫氣、氧氣等多種氣體,層流壓差式MFC可無縫適配。

環(huán)保與醫(yī)療:用于測量混合氣體(如廢氣、麻醉氣體),層流壓差式MFC表現(xiàn)更穩(wěn)定。

總結(jié)

層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)的氣體兼容性更強(qiáng),主要得益于其不依賴氣體熱特性、無需轉(zhuǎn)換系數(shù)、耐腐蝕設(shè)計(jì)和抗污染能力等優(yōu)勢。這些特點(diǎn)使其在半導(dǎo)體、新能源、環(huán)保等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用潛力,尤其適合多氣體、混合氣體及腐蝕性氣體的測量場景。

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