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不同工藝進(jìn)程的電池芯片掃描電鏡圖像

綜述：

太陽能電池又稱為“太陽能芯片"或“光電池"，是一種利用太陽光直接發(fā)電的光電半導(dǎo)體薄片。它只要被滿足一定照度條件的光照到，瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產(chǎn)生電流。在物理學(xué)上稱為太陽能光伏。太陽能芯片的表面微觀形貌、原料和工藝對(duì)電池電性能影響很大，需要掃描電鏡進(jìn)行觀測(cè)，從而控制電池質(zhì)量。

儀器介紹：  

EM科特掃描電鏡，根據(jù)樣品倉大小或拓展分析附件能力，分為 CUBE系列掃描電鏡、GENESIS系列掃描電鏡、VERITAS系列掃描電鏡。

試驗(yàn)方法：

取不同工藝進(jìn)程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀察?？焖儆^察模式，照相時(shí)間 10s

結(jié)論：

EM科特掃描電鏡，可滿足硅太陽能電池制造工藝控制檢測(cè)需要。采用CUBE臺(tái)式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡，需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀察整塊芯片，無損檢測(cè)。

1、晶圓制絨結(jié)構(gòu)掃描電鏡圖像

2、晶圓表面Saw damage etching

3、鋁漿電極掃描電鏡圖像

4、銀漿電極掃描電鏡圖像

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