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分子泵應(yīng)該如何清洗?

閱讀:801        發(fā)布時(shí)間:2022-9-1
分子真空泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子。使之壓縮、排氣的一種真空泵。
 
可分為:
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅(qū)送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復(fù)合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵。
 
分子泵應(yīng)該如何清洗?
 
(1)關(guān)掉分子泵,進(jìn)行排氣。
 
(2)從設(shè)備上小心卸下分子泵,注意不要碰到接口的邊緣部分,以免影響密封性。
 
(3)卸下冷卻器、潤(rùn)滑油包等。
 
(4)將分子泵的高真空接口朝下,垂直地放人一個(gè)盛有*的容器中,液面高度略低于前級(jí)真空接口。
 
(5)上下活動(dòng)分子泵幾次,便于分子泵的定子和轉(zhuǎn)子的葉片清洗。換掉*,加人新的*,最少要重復(fù)一次。每次在*中浸泡大概5~10min。
 
(6)取出分子泵,將高真空接口朝上,再緩慢放平,以便排出磁性軸承中的酒精。
 
(7)用一個(gè)網(wǎng)格放在高真空接口上,然后朝下放置30min以上,排出清洗酒精,注意接口的密封表面不要損傷。
 
(8)接上前級(jí)真空泵,在關(guān)閉分子泵的情況下,利用前級(jí)泵抽真空,使真空度達(dá)到大概10^-1Pa左右,以便*清除分子泵中殘留的*。
 
(9)因前級(jí)真空泵中有酒精,需更換前級(jí)泵真空油。
 
(10)接上分子泵開(kāi)始工作,因?yàn)榻?jīng)過(guò)處理后,分子泵中仍有殘留的酒精存在,因此第一次抽真空比較慢,屬于正常情況。

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