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質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎?

閱讀:1192        發(fā)布時(shí)間:2021-11-15

(1)質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎?

        質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體,包括腐蝕性氣體和特殊氣體,但是要注意,對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體,需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí),需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體,以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤,造成嚴(yán)重?fù)p失。
2)如何選擇密封材料?
       通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。
       金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體,包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議最好采用金屬密封的MFC。
由于金屬密封的MFC價(jià)格較高,通常在要求不高的場合,均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明,MFC都采用氟橡膠密封,可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體,例如可以用于氯化氫等鹵族干燥氣體。
       其它一些特殊腐蝕性氣體,需要采用特種橡膠。
       如:氨氣——需要采用耐氨橡膠,如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;
       有機(jī)溶劑汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡膠;
       三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等——需要采用全氟橡膠。


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