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全自動離子濺射儀具有簡單易用的交互設(shè)計

閱讀：131      發(fā)布時間：2025-5-16
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　　全自動離子濺射儀簡單易用的交互設(shè)計：
　　1. 模塊化操作界面
　　分步提示：
　　屏幕顯示當(dāng)前步驟（如“正在抽真空”“開始濺射”），并實時更新進度條。
　　異常狀態(tài)自動彈窗報警（如真空度不足、靶材耗盡），并提供解決方案提示。
　　參數(shù)互鎖保護：
　　限制參數(shù)輸入范圍（如電流不超過靶材最大承受值），避免誤操作導(dǎo)致設(shè)備損壞。
　　2. 免維護設(shè)計
　　靶材更換便捷：
　　采用卡扣式或磁吸式靶材座，無需工具即可更換靶材。
　　靶材尺寸標(biāo)準(zhǔn)化，兼容常用規(guī)格。
　　清潔維護簡化：
　　濺射腔室采用耐腐蝕材料，定期用清水或酒精擦拭即可。
　　可選配自動清潔模式。
　　3. 安全與合規(guī)性
　　多重防護機制：
　　門禁保護：艙門未關(guān)閉時無法啟動濺射，防止紫外線暴露。
　　過流保護：電流超過設(shè)定值時自動切斷電源，保護靶材和樣品。
　　符合標(biāo)準(zhǔn)：
　　通過CE認(rèn)證，電氣安全性和EMC電磁兼容性符合國際要求。
　　全自動離子濺射儀使用注意事項：
　　1.靶材與樣品距離：
　　根據(jù)濺射速率需求調(diào)整靶材與樣品臺的距離，距離越近鍍膜速率越高。
　　2.氣體選擇：
　　惰性氣體用于金屬濺射，反應(yīng)性氣體可用于氧化物鍍膜。
　　3.冷卻系統(tǒng)：
　　長時間連續(xù)工作時需檢查散熱系統(tǒng)，避免靶材過熱變形。

 

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