全自動離子濺射儀是一種用于在掃描電鏡樣品制備、電極材料研究等領(lǐng)域中，通過磁控方式實現(xiàn)高真空環(huán)境下的精確鍍膜的設(shè)備。離子濺射儀為掃描電鏡用戶在制樣過程中提供了更廣泛的選擇，以便適用支持掃描電子顯微鏡所需的涂層要求。在結(jié)構(gòu)設(shè)計及人機界面方面更加注重人性，簡單智能。
全自動離子濺射儀全自動操作，簡單易用。該儀器非常適合用于鎢燈絲、臺式掃描電鏡等應用。它具有以下功能：
(1) 濺射電流自動調(diào)整：在設(shè)定了濺射電流后，系統(tǒng)會自動調(diào)節(jié)真空度，以達到設(shè)定的濺射電流。調(diào)整時間小于5秒，波動范圍小于±5%。用戶無需按下“實驗”鍵來調(diào)整濺射電流，也無需操作“進氣閥”。
(2) 濺射時間自動記憶：對于同類樣品，只需進行一次設(shè)定即可。
(3) 參數(shù)改變自動調(diào)整：在濺射過程中，用戶可以隨時調(diào)整濺射電流和濺射時長。系統(tǒng)會自動計算疊加，無需終止濺射過程。
(4) 工作完成自動放氣：當濺射過程完成后，系統(tǒng)會自動放氣，方便用戶取出樣品。
(5) 樣品臺高度調(diào)節(jié)1秒完成：用戶可以通過簡單的操作快速調(diào)節(jié)樣品臺的高度，節(jié)省時間和精力。
(6) 濺射過程可以利用曲線顯示，清晰直觀：用戶可以通過曲線圖來觀察濺射過程的變化，更加直觀地了解實驗進展情況。
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