半導(dǎo)體工藝氣體檢測(cè)系統(tǒng)，GK6030-BDT型號(hào)是一種可移動(dòng)、可獨(dú)立的采樣系統(tǒng)，采用分析柜式結(jié)構(gòu)，結(jié)合用戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際工況，采用樣氣抽取分析式流程設(shè)計(jì)。主要由三部份組成，氫燃料電池檢測(cè)模組,進(jìn)口檢測(cè)模組,出口檢測(cè)模組，全程高溫伴熱191攝氏度方式。采用西門(mén)子PLC控制，組態(tài)界面操作，具備自動(dòng)進(jìn)樣，連續(xù)運(yùn)行、間歇運(yùn)行、控制聯(lián)鎖諸功能。加上配置了智能化分析儀表，具有自動(dòng)化程度高，數(shù)據(jù)處理快速準(zhǔn)確。測(cè)量精度高，響應(yīng)時(shí)間快，其測(cè)量后的氣體濃度信號(hào)可在計(jì)算機(jī)組態(tài)界面監(jiān)控。主要用于半導(dǎo)體工藝用電子特氣的質(zhì)量評(píng)價(jià)，半導(dǎo)體工藝廢氣、氫燃料電池燃燒氣、煙氣和發(fā)動(dòng)機(jī)尾氣等成分的定性分析和定量研究，也可用于半導(dǎo)體工藝廢氣處理設(shè)備分解移除效率的評(píng)價(jià)和研究。
應(yīng)用實(shí)例
•半導(dǎo)體工藝用電子特氣的質(zhì)量評(píng)價(jià)測(cè)量
•與安全相關(guān)領(lǐng)域的測(cè)量
•作為法定煙氣排放量參考變量的測(cè)量
•氫燃料電池燃燒氣成分定性分析
•燃燒廠中煙氣排放量的定性分析
•半導(dǎo)體工藝廢氣氣濃度的定量研究
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