描述
MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜 分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分 析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能 分析含有高達(dá)40%水的氣流，能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，故 省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操 作簡(jiǎn)便，易于維護(hù)。
MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由保護(hù)的2102傅利葉變換紅外制成分光計(jì)， 高光通量取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫(kù)組成。MKS MultiGasTM6030收集高分辨率 的紅外光譜與定量光譜庫(kù)分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測(cè)量。
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