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用激光干涉儀測量定位誤差，如圖所示。由于部分機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸安裝在工作臺(tái)面以下日本HD激光回轉(zhuǎn)諧波CSG-45-160-2UH ，其回轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)精度只能在機(jī)床裝配時(shí)進(jìn)行測量和改善。單項(xiàng)檢測法只能實(shí)現(xiàn): 使用激光干涉儀和反射鏡組測量回轉(zhuǎn)軸的角度定位精度

球桿儀法是ISO 230-1中推薦的一種方法，1982年，J BBRYAN在日本HD激光回轉(zhuǎn)諧波CSG-45-160-2UH美國Lawrence Livermore國家實(shí)驗(yàn)室，首先開發(fā)出了用于快速檢測數(shù)控機(jī)床運(yùn)動(dòng)誤差的球桿儀&球桿儀由兩個(gè)精密金屬圓球和一個(gè)可伸縮連桿組成，在連桿中間鑲嵌著用于檢測位移的光柵尺，如圖 . 所示&測量時(shí)，一個(gè)圓球通過磁性鋼座固定日本HD激光回轉(zhuǎn)諧波CSG-45-160-2UH工作臺(tái)上，另一個(gè)圓球通過同樣的裝置安裝在主軸上