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美國可脈(QMAXIS)推薦之多晶硅制備方案

閱讀:565        發(fā)布時間:2023-2-22

    想要觀察多晶硅樣品金相制備后的微觀形貌,首先我們選擇低聚集金剛石顆粒的20LC金剛石切割片,將樣品用精密金相切割機切割成小塊,并鑲嵌成圓形標(biāo)準試樣后,再進行制備。鑲嵌推薦使用美國可脈(QMAXIS)9個小時固化的EpoFlow環(huán)氧樹脂,可以獲得較佳的保邊效果,即固化后樹脂與樣品之間的結(jié)合性也較佳。

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    多晶硅樣品的顯微磨削制備我們推薦采用美國可脈(QMAXIS)研發(fā)的四步法,用戶可根據(jù)實際情況自行減少或增加步驟,以達到同樣的效果。此外,美國可脈(QMAXIS)還有另外一種使用金剛石磨盤制備的方案,即采用P320或P400金相砂紙,然后用9µm、3µm、0.5µm金剛石磨盤進行研磨,結(jié)尾用0.02µm氧化硅拋光液再進行拋光。我們通過使用美國可脈(QMAXIS)的設(shè)備和耗材,采用相應(yīng)的參數(shù)為用戶提供更加有效的制備方法。具體的制備步驟、耗材選擇以及制備參數(shù)等如下表所示。


多晶硅樣品制備方案(一)


· 即將完成后的20 秒用水沖洗樣品及金相拋光布即可

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多晶硅樣品制備方案(二)


· 即將完成后的20 秒用水沖洗樣品及金相拋光布即可

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    多晶硅類似于玻璃,硬而脆,金剛石拋光液標(biāo)樂安全技術(shù)小編建議可以選擇使用多晶。多晶的磨削速度快,對于硬一點的材料來說,效率會更高一些。順便說一下,單晶硅比多晶硅制備容易一些,制備單晶硅,力值可以稍微低一些。


    所以,您在制備多晶硅樣品時會采取哪些步驟及參數(shù)呢?歡迎與標(biāo)樂安全技術(shù)工程師分享、討論。


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