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FS4003/FS4008氣體質(zhì)量流量傳感器
FS4003微型流量傳感器,FS4008微型質(zhì)量流量計(jì)詳細(xì)介紹
FS4000是采用世界的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍最大到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測(cè)量范圍最大到50SLPM；可用于設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè)，如：空氣采樣機(jī)，氣體分析儀等
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
機(jī)械尺寸:FS4003/FS4008氣體質(zhì)量流量傳感器
產(chǎn)品特點(diǎn):
性能參數(shù) | FS4003 | FS4008 | 單位 |
通徑 | 3 | 8 | mm |
最大流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量程比 | 100:1 | ||
精度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復(fù)性 | 0.75 | % | |
零點(diǎn)輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | 0.12 | %/oC | |
響應(yīng)時(shí)間 | 100 | ms | |
工作電源 | 8~18Vdc,100mA | ||
輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc | ||
最大流量壓損 | 100 | 600 | pa |
最大工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲(chǔ)溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作濕度 | <95%RH（無結(jié)冰、無凝露） | ||
機(jī)械接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 | ||
校準(zhǔn)方式 | 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa | ||
重量 | 57（帶R1/4,BSPT1/4接口） | g | |
